本标准适用于以气体为干燥介质的粮食干燥机的性能试验和生产试验。本标准规定的试验项目，根据机型特点和试验目的不同，允许有所增减。

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本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪。

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前言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 方法原理 1 5 仪器 2 5.1 仪器组成 2 5.2 仪器性能 3 6 样品 3 7 分析步骤 4 7.1 能量标尺校正 4 7.2 AES定性分析及操作步骤 6 7.3 俄歇电子能谱的定量分析 6 7.4 深度剖析 7 7.5 元素化学态分析 7 8 分析结果的表述 7 8.1 俄歇全谱 7 8.2 窄谱 7 8.3 线扫描谱 7 8.4 深度剖析谱 7 8.5 多点显微对比分析 8 8.6 样品表面元素分布图(Augermap) 8 8.7 分析结果表述方式 8 图1 KL1L3 俄歇跃迁 2 图2 俄歇电子能谱简图 2 图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0.3%) 5 表1 参考物质的俄歇电子动能参考值 4

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GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇
ISO/TR15969:2001 表面化学分析 深度分析 溅射深度的测量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)
ISO18116:2005 表面化学分析 表面分析样品的制备和固定方法指南(SurfaceChemicalAnalysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)
ISO18118:2002(E) 表面化学分析 AES和XPS均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因子使用指南(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensitivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)
ISO/TR18394:2006 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息来源(SurfaceChemical
Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)
ISO/TR19319:2003 表面化学分析 俄歇电子能谱和X 射线光电子谱 分析者对于横向分辨率、分析范围和样品观察范围的测定(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandXrayPhotoelectronSpectroscopy—
DeterminationofLateralResolution,Analysis Area,andSample
AreaViewedbytheAnalyser)
ASTM E1078—2002 表面分析中制样和装样的标准指南(StandsardGuideforSpecimenPreparationandMountinginSurfaceAnalysis)
ASTM E1829—2002 表面分析前样品处理标准指南(StandsardGuideforHandlingSpecimens
PriortoSurfaceAnalysis)